垂直耦合系統(tǒng)解決方案

垂直耦合封裝系統(tǒng) 一）系統(tǒng)主要單元參數(shù) 微調(diào)架名稱 軸 電/手動 移動量 最小分辨率 左入射，出射端微調(diào)架 X/Y/Z 手動 ±6.5MM 0.5微米 θx θY θZ ...